磁控濺射沉積系統設計

時間：2023-04-13

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

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詞條說明
高低溫探針臺-解釋塞貝克系數測量原理及系數
塞貝克系數（Seebeck Coefficient）也稱為熱電偶效應或Seebeck效應，是指兩種不同導體（或半導體）材料在一定溫差下產生熱電動勢的現象。塞貝克系數是研究熱電材料（將熱能轉化為電能的材料）非常重要的一個參數，它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數的測量方法有很多種，其中一種常用的方法是恒流法。首先準備一個熱電偶，它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中
小型金屬濺射鍍膜機優(yōu)點
?? ? ? ? ? ? ?鄭科探小型濺射儀功能優(yōu)勢1、樣品臺旋轉，多樣品同時鍍膜時，鍍膜厚度比較均勻。2、預濺射擋板功能，剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質，擋板可以保護樣品，提高薄膜質量3、帶有水冷系統，可以長時間濺射鍍膜，厚度可達1微米以上。4、直流磁控濺射，提高附著力，濺射速率快，比離子濺射快上一個量級。針對某些
高低溫探針臺-解釋塞貝克系數測量原理及系數
塞貝克系數（Seebeck Coefficient）也稱為熱電偶效應或Seebeck效應，是指兩種不同導體（或半導體）材料在一定溫差下產生熱電動勢的現象。塞貝克系數是研究熱電材料（將熱能轉化為電能的材料）非常重要的一個參數，它用來衡量材料在一定溫差下產生的熱電壓。?塞貝克系數的測量方法有很多種，其中一種常用的方法是恒流法。準備一個熱電偶，它由兩種不同材料的導線組成。然后將熱電偶的其中一個
磁控濺射沉積系統設計
?針對光學和介電功能薄膜制備中的離化率低和靶面污染問題,設計了一種磁控濺射沉積系統,系統包括磁控濺射靶裝置、等離子體源和陽極清洗裝置。主要結論有:(1)在磁控濺射靶裝置設計中,采用磁流體密封替代橡膠軸承密封,提高了靶裝置的密封性,極限真空度可達10-6 Pa;采用旋轉磁鋼代替固定磁鋼,使靶材的利用率從30%提高到60%,同時避免了靶裝置在預先清洗時的污染;設計了靶裝置的驅動端,完成了電機