詞條
詞條說(shuō)明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
泵軸軸承位磨損真空泵傳動(dòng)部位磨損是普遍存在的問(wèn)題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無(wú)法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無(wú)法改變“硬對(duì)硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會(huì)造成再次磨損。當(dāng)代西方國(guó)家針對(duì)以上問(wèn)題多使用高分子復(fù)合
單級(jí)旋片真空泵浮子閥怎樣換1、回油浮球安裝在油箱內(nèi),泵頭處的回油管將連接與之相通的孔,將泵頭內(nèi)多余的油收集到油箱內(nèi)部。2、當(dāng)回油浮球失去效果,則在油位較高時(shí)無(wú)法堵住油口,后果將會(huì)導(dǎo)致整個(gè)回油油路無(wú)法正常工作。從而間接導(dǎo)致真空泵泵體潤(rùn)滑不夠,或泵體油分過(guò)多。3、為了保持油路的暢通和正常工作,以及獲得穩(wěn)定的真空度、延長(zhǎng)真空泵使用壽命的前提下,當(dāng)大保養(yǎng)或維修時(shí)若回油浮球失去效果,請(qǐng)立即換!浮子適用于普旭
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。設(shè)備定期檢修維護(hù)須知:泵油隨著泵的運(yùn)轉(zhuǎn)惡劣,因而需要通過(guò)油視窗查明的污濁程度及粘度情況,并及時(shí)替換泵油。替換泵油的周期:
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