【工業真空泵】真空泵的日常維護

時間：2021-09-03作者：上海福豫機械設備有限公司瀏覽：79

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  詞條說明

• 【工業真空泵】羅茨泵工作原理

  羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真

• 【工業真空泵廠家】壓強范圍

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• 【真空泵廠家】旋片式真空泵主要組成

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• 【上海單級真空泵】 旋片式真空泵的主要組成結構

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