**SMA電漿等離子清洗機技術在晶圓芯片封裝工藝中有哪些應用

時間：2019-01-01作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：1098

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• 等離子清洗機處理OLED顯示器件

  OLED顯示器件等離子清洗機應用，在封裝過程中，器件和材料表面的各種沾污會明顯的影響封裝生產及產品質量，而等離子清洗能夠很容易地去除掉生產過程中形成的這些分子水平的污染，從而顯著地提高封裝的可靠性以及產品成品率。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻

• 金屬等離子表面處理工藝，等離子清洗機

  等離子清洗機是一種中性的、無污染的干式工藝的等離子表面處理設備，省去了濕法化學處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝，等離子清洗機既能清洗基體表面，又能對基體材料進行表面改性，改善基材表面能、浸潤性、活化等性能，等離子清洗機利用等離子體中高能粒子和活性粒子，通過轟擊或活化反應作用達到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的

• 等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走 等離子清

• FPC等離子清洗機去污處理，增加表面張力

  等離子清洗機廣泛用于LED,LCD，LCM，手機天線，外殼，配件，筆記本電腦按鍵及外殼，光學元器件，光學鏡片，晶片，電子芯片，集成電路，五金，精密零件，塑膠制品，生物材料，醫療器皿，晶圓，太陽能光伏硅片等的表面處理。 經過等離子清洗機處理的物件表面活化效果好，物件的水浸潤效果也是非常好的。從而達到表面處理，清洗和刻蝕的效果。如微晶玻璃，光學鏡片鍍臘粘接前采用等離子清洗機來處理，能有效提升產品品質。