湘潭噴淋塔填料塔工藝流程

時間：2019-02-14作者：東莞市永綠環(huán)保工程有限公司瀏覽：181

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• 半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣處理工藝

  半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣處理工藝半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。揮發(fā)性**廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用**溶液（如異丙醇）對晶片表面進行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是**廢氣的來源之一；同時，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的**溶劑，如醋酸丁酯等，在晶片處理過程中也要揮發(fā)到大氣中，是**廢氣產(chǎn)生的又一來源。 與半導(dǎo)體制造工藝相比，半導(dǎo)體

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