氣體質量流量計/控制器的結構和工作原理

時間：2019-03-13作者：北京華旭世紀科技有限公司瀏覽：171

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  詞條說明

• 氣體質量流量計/控制器的結構和工作原理

  氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥

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